MAXIMATOR隔膜阀耐压及功能测试台设计用于模拟检测半导体隔膜阀在各类压力、温度条件下的多项性能评估，如爆破测试、密封性测试、启动循环测试、外漏测试、内漏测试和驱动测试等。

主要技术参数：

测试介质：二甲基硅油；压缩空气

输出压力可达12bar

介质温度：RT-130°C

主要功能特点：

设备可实现隔膜阀在压力和介质温度控制下的增压爆破、密封性检测、启动循环测试的功能。

设备具备隔膜阀内漏和外漏检测功能。

设备具备隔膜阀驱动压力测试功能。

设备具备介质循环加热和冷却的功能。

测试腔具有废液收集功能。

测试腔的门配有限位开关，门未关好时禁止开始测试。

设备为自动控制系统，可进行参数设定，测试过程实时显示压力-时间、温度-时间曲线。具备异常报警，紧急停止，输出测试报告等功能。